基于波导耦合反应腔串联的线形微波等离子体源

• 作者: 付秋明 张田田 汪建华 王传新 马志斌 黄宏伟
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 线形微波等离子体 等离子体诊断 均匀性 引导天线 串联
• 年，卷（期）: 2016,（8）
• 所属期刊栏目: 等离子技术
• 页码范围: 906-909
• 分类号: O531
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2016.08.10

摘要

通过将两个波导耦合反应腔串联,得到了具有线形结构的微波等离子体源.利用光纤光谱仪沿等离子体轴向测量不同位置的等离子体发射光谱,对等离子体中不同基团的发射光谱强度进行了比较分析,研究了反应腔结构对等离子体均匀性的影响.实验结果表明:通过将波导耦合反应腔串联可以在引导天线表面产生圆柱状的线形等离子体,等离子体沿轴向的均匀性与引导天线外径尺寸和两端的模式转换棒的位置有关,当引导天线外径为4 mm,模式匹配棒伸入量为10 mm时,等离子体的不均匀性小于10％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王传新	武汉工程大学材料科学与工程学院等离子体化学与新材料湖北省重点实验室	34	121	6.0	8.0
2	马志斌	武汉工程大学材料科学与工程学院等离子体化学与新材料湖北省重点实验室	58	189	7.0	10.0
3	张田田	武汉工程大学材料科学与工程学院等离子体化学与新材料湖北省重点实验室	3	4	2.0	2.0
4	黄宏伟	武汉工程大学材料科学与工程学院等离子体化学与新材料湖北省重点实验室	4	6	2.0	2.0
5	付秋明	武汉工程大学材料科学与工程学院等离子体化学与新材料湖北省重点实验室	14	22	2.0	3.0