不同底层对CoFeB/Pt多层膜垂直磁各向异性的影响研究

• 作者: 俱海浪 李宝河 王洪信 程鹏
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 物理学
• 关键词: CoFeB/Pt多层膜 反常霍尔效应 垂直磁各向异性 底层 热稳定性 磁隧道结
• 年，卷（期）: 2016,（12）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 17-20
• 页数: 4页
• 分类号: O469
• 字数: 2802字
• 语种: 中文
• DOI: 10.14106/j.cnki.1001-2028.2016.12.004

摘要

采用磁控溅射方法在玻璃基片上制备了以Ru,Cu,Pt和Ta为底层的CoFeB/Pt多层膜样品,研究了各底层对CoFeB/Pt多层膜的反常霍尔效应的影响.发现Ru和Cu作为CoFeB/Pt多层膜的底层在保持样品的垂直磁各向异性方面的作用远不如Pt和Ta底层,而且样品的霍尔电阻比Pt和Ta做底层要小.Ta作为CoFeB/Pt多层膜的底层与Pt作为底层相比能够更好地和多层膜晶格匹配,并且在400℃退火后反常霍尔效应得到增强.霍尔电阻提高近80％,矫顽力达到了5.7×103 A·m-1,有望作为垂直自由层应用到磁隧道结构中.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李宝河	北京工商大学理学院	43	158	6.0	9.0
2	俱海浪	北京工商大学理学院	14	46	4.0	6.0
3	程鹏	北京工商大学理学院	4	3	1.0	1.0
4	王洪信	北京工商大学理学院	2	1	1.0	1.0