氮化铝真空热分解反应机理研究

• 作者: 刘大春 卢勇 徐宝强 李高峰 杨斌 王家驹 董朝望 郁青春 陈秀敏
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: AlN Al 真空热分解 热力学 动力学模拟
• 年，卷（期）: 2016,（8）
• 所属期刊栏目: 真空冶炼
• 页码范围: 929-934
• 分类号: TF821
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2016.08.14

摘要

为了研究氮化铝真空热分解反应机理,对该反应进行真空条件下热力学计算,结果表明反应在1960 ～ 2360 K,60Pa的条件下可以进行.利用基于密度泛函框架下的第一性原理平面波赝势法,对氮化铝真空热分解反应在1960～ 2360 K,60Pa的条件下分别进行了5ps动力学模拟,并对模拟得到的AlN(1010)的结构、分波态密度和差分电荷密度进行计算和分析.模拟结果表明,部分Al-N键发生断裂,表面第一、二层间的Al-N键先发生断裂,然后是表层中的Al-N键断裂,有单质Al和Al-Al键的生成.