VO2薄膜常见制备方法综述

• 作者: 侯典心 杨玚 路远
• 来源期刊: 红外技术
• 学科: 工学
• 关键词: 相变材料 VO2制备方法 脉冲激光沉积工艺 分子束外延法 磁控溅射法
• 年，卷（期）: 2016,（12）
• 所属期刊栏目: 综述与评论
• 页码范围: 1020-1025
• 页数: 6页
• 分类号: TB321
• 字数: 2461字
• 语种: 中文

摘要

VO2是一种相变温度为68℃接近室温的热致相变材料，具有十分广泛的潜在应用价值，自从被发现以来针对它的研究就从未停止。如何使用恰当的制备方法简单、快速的制备性能良好的VO2薄膜一直是研究的热点之一。目前，VO2薄膜常见的制备方法主要有蒸发法、溶胶-凝胶法、脉冲激光沉积工艺、分子束外延法及磁控溅射法等。本文详细介绍了每种方法的相应制备原理与国内外研究现状，并用表格的方式简洁明了地对比出每种方法的优势与不足，为不同条件下VO2薄膜的制备方法的选择提供了参考。同时，本文也对未来研究方向做出展望，对今后VO2薄膜的制备与应用研究有重要的借鉴意义。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	路远		34	257	10.0	15.0
7	侯典心		3	5	2.0	2.0
19	杨玚		2	10	2.0	2.0