SPDT加工对KDP晶体表面温度及应力的影响

• 作者: 刘有海 姜晶 张晨贵 张连新 杨萍 栾春红 梁莹林 王超 阳红
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: KDP晶体 温度原位测量 Raman光谱 模拟仿真
• 年，卷（期）: 2016,（4）
• 页码范围: 896-900
• 页数: 5页
• 分类号: O786
• 字数: 2481字
• 语种: 中文

摘要

KDP晶体作为优质的非线性光学材料,具有脆性高、对温度敏感等特性,在单点金刚石切削(SPDT)超精密加工中,微小的温度和应力变化有可能对晶体造成损伤,但是一直未有相关实验报道.本文采用红外热成像仪对SPDT加工过程进行监测,结合Raman光谱技术,研究KDP晶体在SPDT加工前后表面温度和应力的分布变化.大尺寸KDP晶体经过快速微区切削后,在给定的切削工艺条件下,测量出切削部分最高瞬态温度比附近未切削部分高出将近8℃.通过Raman测量,显示切削后晶体表面存在残余拉应力.结合热力耦合模拟仿真,进一步分析了SPDT加工过程动态切削温度对晶体质量的影响,为优化加工参数提供依据.