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化学气相沉积金刚石膜技术专利分析
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摘要：
从国内外专利文献方面分析了化学气相沉积(CVD)金刚石膜技术的研究与应用发展情况.
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研究主题发展历程
节点文献
金刚石膜
化学气相沉积
专利
综述
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相关学者/机构
期刊影响力
电镀与涂饰
主办单位：
广州市二轻工业科学技术研究所
出版周期：
半月刊
ISSN：
1004-227X
CN：
44-1237/TS
开本：
大16开
出版地：
广州市科学城科研路6号
邮发代号：
46-155
创刊时间：
1982
语种：
chi
出版文献量（篇）
5196
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23
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