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摘要:
微细尺度的对流换热与常规尺度的有很大不同,采用比较法研究了微细尺度水平氮化硅表面空气自然对流换热的问题.利用标准CMOS工艺和简单的post-CMOS工艺制作出微热板(MHP)测试结构并实验测试,对测试方法的准确性进行了有限元仿真.结果表明:面积为43.5μm×43.5μm的水平氮化硅表面的自然对流的传热热导为2.63×10-5 W/K,由此计算出的自然对流系数高达1.39×104 W/(m2·K),远远高于常规尺度下空气自然对流系数.
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关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 比较法研究微细尺度氮化硅表面自然对流换热
来源期刊 电子器件 学科 工学
关键词 微细尺度 自然对流换热 比较法 微热板
年,卷(期) 2016,(6) 所属期刊栏目 固态电子器件及材料
研究方向 页码范围 1287-1291
页数 5页 分类号 TN407
字数 2085字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1005-9490.2016.06.002
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 唐祯安 大连理工大学电子科学与技术学院 142 1281 17.0 29.0
2 余隽 大连理工大学电子科学与技术学院 37 252 7.0 14.0
3 吴昊 大连理工大学电子科学与技术学院 20 62 5.0 6.0
4 关经纬 大连理工大学电子科学与技术学院 2 3 1.0 1.0
5 黄正兴 大连理工大学电子科学与技术学院 14 68 4.0 8.0
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电子器件
双月刊
1005-9490
32-1416/TN
大16开
南京市四牌楼2号
1978
chi
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