比较法研究微细尺度氮化硅表面自然对流换热

• 作者: 余隽 关经纬 吴昊 唐祯安 黄正兴
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 微细尺度 自然对流换热 比较法 微热板
• 年，卷（期）: 2016,（6）
• 所属期刊栏目: 固态电子器件及材料
• 页码范围: 1287-1291
• 页数: 5页
• 分类号: TN407
• 字数: 2085字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2016.06.002

摘要

微细尺度的对流换热与常规尺度的有很大不同,采用比较法研究了微细尺度水平氮化硅表面空气自然对流换热的问题.利用标准CMOS工艺和简单的post-CMOS工艺制作出微热板(MHP)测试结构并实验测试,对测试方法的准确性进行了有限元仿真.结果表明:面积为43.5μm×43.5μm的水平氮化硅表面的自然对流的传热热导为2.63×10-5 W/K,由此计算出的自然对流系数高达1.39×104 W/(m2·K),远远高于常规尺度下空气自然对流系数.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐祯安	大连理工大学电子科学与技术学院	142	1281	17.0	29.0
2	余隽	大连理工大学电子科学与技术学院	37	252	7.0	14.0
3	吴昊	大连理工大学电子科学与技术学院	20	62	5.0	6.0
4	关经纬	大连理工大学电子科学与技术学院	2	3	1.0	1.0
5	黄正兴	大连理工大学电子科学与技术学院	14	68	4.0	8.0