GaN基微腔传感器悬空隔膜的力电转换的ANSYS研究

• 作者: 于宁 刘飞飞 宋会会 朱彦旭 杜志娟 王岳华 王红航
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜 输出电压 ANSYS 14. 0 机械应力 压电效应
• 年，卷（期）: 2016,（6）
• 所属期刊栏目: 激光材料和光学元件
• 页码范围: 791-795
• 页数: 5页
• 分类号: O484.4+1|TP212.1+4
• 字数: 3504字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2016.06.004

摘要

为了深入研究氮化镓薄膜的压电效应和机械特性,基于气体直接吸收红外辐射的原理,将基于氮化镓悬空隔膜的充气微腔红外传感器项目作为背景,以氮化镓/铝镓氮薄膜作为敏感单元,在材料力学以及压电效应方面,采用有限元分析软件ANSYS 14.0进行了理论分析和验证,取得了薄膜形状、厚度和面积等尺寸与压电薄膜输出电压以及薄膜灵敏度的逻辑关系数据,验证了薄膜力-电信号转换机制可行性。结果表明,GaN薄膜材料具有良好的压电特性以及线性度,有助于对探测器输出信号进行准确的预测,并进行温度补偿,突出GaN材料在应用中的优势。此研究对设计性能良好、灵敏度高的微腔红外传感器是有帮助的。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱彦旭	北京工业大学北京光电子技术实验室	21	79	6.0	8.0
2	王岳华	北京工业大学北京光电子技术实验室	4	6	1.0	2.0
3	宋会会	北京工业大学北京光电子技术实验室	6	7	1.0	2.0
4	王红航	电子科技大学中山学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室	24	38	4.0	5.0
5	杜志娟	北京工业大学北京光电子技术实验室	1	0	0.0	0.0
6	刘飞飞	北京工业大学北京光电子技术实验室	1	0	0.0	0.0
7	于宁	北京工业大学北京光电子技术实验室	1	0	0.0	0.0