休斯光刻机汞灯电源的原理与维修技术

• 作者: 刘冲 单庆 姜睿 尹鹏和 崔岩 徐征
• 来源期刊: 实验室科学
• 学科: 教育
• 关键词: 光刻机 汞灯电源 故障分析维修
• 年，卷（期）: 2016,（4）
• 所属期刊栏目: 仪器、设备、技术
• 页码范围: 192-194
• 页数: 3页
• 分类号: G482
• 字数: 1940字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-4305.2016.04.056

摘要

汞灯具有电弧密度大、亮度高、近紫外谱线集中等许多优点,在微电子光刻领域中有广泛应用.由于汞灯为高强度气体放电灯,发光受环境温度、电压强度等因素影响较大,为光刻设备中易出现故障的器件之一.在大连理工大学微系统实验室近9年的使用过程中,对德国休斯公司生产的MA6型光刻机的汞灯工作原理进行了充分的研究和分析.通过维修,解决了汞灯电源电流停机保护故障和温度停机保护故障两个问题,保障了设备的正常运行.同时,揭示了汞灯光源的功率电路、控制电路原理,介绍了恒功率输出、恒光强输出的电路工作原理.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘冲	大连理工大学机械工程学院	156	1345	17.0	30.0
2	徐征	大连理工大学机械工程学院	52	292	9.0	14.0
3	崔岩	大连理工大学机械工程学院	59	332	10.0	16.0
4	姜睿	大连理工大学化工学院	11	153	6.0	11.0
5	尹鹏和	大连理工大学机械工程学院	4	9	2.0	3.0
6	单庆	大连理工大学机械工程学院	1	3	1.0	1.0