电弧离子镀AlCrN涂层结构和摩擦性能的研究

• 作者: 张世宏 曾琨 王启民 耿东森 黄健
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 电弧离子镀 AlCrN涂层 组织结构 磨擦性能
• 年，卷（期）: 2016,（12）
• 所属期刊栏目: 结构薄膜
• 页码范围: 1387-1393
• 分类号: TB383.2|TB302.1|TB333
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2016.12.08

摘要

采用电弧离子镀技术在硅片和高速钢基体上沉积AlCrN涂层,利用扫描电子显微镜、X射线粉末衍射仪、能谱仪、透射电子显微镜、纳米划痕以及摩擦实验等对AlCrN涂层的结构和摩擦性能进行了研究.结果表明,AlCrN涂层为柱状晶结构,主要由固溶态的fcc-(Cr,Al)N结构组成,在固溶强化的作用下涂层的硬度提升到了32 GPa左右.常温摩擦中AlCrN涂层出现了比较明显的龟裂纹,400和600℃下涂层磨损方式主要表现为磨粒磨损、粘着磨损以及氧化磨损.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王启民	广东工业大学机电工程学院	25	153	6.0	11.0
2	张世宏	安徽工业大学材料科学与工程学院	31	139	7.0	11.0
3	曾琨	广东工业大学机电工程学院	4	31	3.0	4.0
4	黄健	广东工业大学机电工程学院	9	120	7.0	9.0
5	耿东森	广东工业大学机电工程学院	4	16	3.0	4.0