MEMS数字倾角仪的标定补偿方法研究

• 作者: 刘一鸣 刘伟 李杰
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 倾角仪 MEMS加速度计 系统标定 误差补偿
• 年，卷（期）: 2016,（6）
• 所属期刊栏目: 传感器信号处理
• 页码范围: 892-896
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.9
• 字数: 2628字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2016.06.017

摘要

在介绍MEMS数字倾角仪组成结构的基础上，根据数字倾角仪内部MEMS加速度计的输出特性，对MEMS加速度计的敏感单元建立数学标定模型，提出并推导了一种适用于MEMS数字倾角仪的标定方法；该方法可以得到双轴MEMS数字倾角仪中加速度计的零位电压、标度因数矩阵、安装误差系数等敏感项参数；通过重力场静态翻转实验对实验室研制的数字倾角仪进行标定；最后使用MATLAB拟合计算得到所求标定参数，并对测试结果进行了误差分析和补偿对比；实验结果表明，该方法能使MEMS数字倾角仪的测量精度提高到±0.05°，可以满足高精度的角度测量需求。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘伟	中北大学电子测试技术重点实验室	28	55	5.0	5.0
2	李杰	中北大学电子测试技术重点实验室	142	1013	16.0	26.0
6	刘一鸣	中北大学电子测试技术重点实验室	12	46	5.0	6.0