现场真空校准装置性能研究

• 作者: 习振华 刘珈彤 吉康 张虎忠 成永军 李得天 王永军 管保国
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 现场校准 压力衰减法 直接比较 计量特性
• 年，卷（期）: 2016,（12）
• 所属期刊栏目: 真空技术与理论
• 页码范围: 1400-1406
• 分类号: TB771
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2016.12.10

摘要

研制了一台校准范围为10-5 ～105 Pa的现场真空校准装置.将不同种类单一成分的校准气体引入装置上游室,通过几何尺寸为微米量级激光小孔的衰减,建立校准用标准压力psd.上游室压力变化范围为1～103 Pa,相应地,校准室内对应的标准压力范围10-5～ 10-2 Pa(N2),测量不确定度为2.4％.另外,该装置可采用与标准真空计直接比较进行动态或静态校准,其极限真空度为10-6 Pa量级.对装置暴露大气后的抽气性能、静态压升及其主要计量特性进行了实验研究.实验结果表明,该装置外形尺寸以及质量分别为475 mm×420 mm× 800 mm、37.8 kg,校准范围为1.9×10-5～1.0×105 Pa,相对合成标准不确定度为2.8％～0.40％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李得天		55	149	6.0	9.0
2	成永军		34	75	6.0	7.0
3	王永军		5	6	2.0	2.0
4	习振华		10	21	2.0	3.0
5	张虎忠		9	16	2.0	3.0
6	吉康		3	3	1.0	1.0
7	管保国		5	11	2.0	3.0
8	刘珈彤		3	10	2.0	3.0