高线性度全差分四阶ΣΔ微加速度计接口ASIC

• 作者: 刘云涛 赵双 邵雷
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微加速度计 高线性度 全差分 sigma-delta
• 年，卷（期）: 2016,（6）
• 所属期刊栏目: 传感器信号处理
• 页码范围: 880-885
• 页数: 6页
• 分类号: TP824
• 字数: 3017字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2016.06.015

摘要

为了降低电容式Sigma-Delta（ΣΔ）微机械（MEMS）加速度计的量化噪声，减小开关电荷注入和衬底噪声共模干扰，减小谐波失真，设计了一种全差分四阶ΣΔ加速度计的接口专用集成电路（ASIC）。提出了一种简单、有效的全桥平衡结构，减小了驱动信号变化时，运放输入共模的变化对电路的干扰；提出了双侧反馈结构，大大提高了系统线性度。设计完成了电荷积分器、全差分前置补偿电路、二阶积分器等电路。采用0.5μm两层金属两层多晶n阱CMOS工艺流片，测试结果显示：闭环系统噪声密度为75μg/Hz1/2，系统灵敏度为1.32 V/gn，非线性度0.085%，功耗40 mW。结果显示本次设计满足微加速度计接口电路的设计要求。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘云涛	哈尔滨工程大学信息与通信工程学院	25	70	5.0	7.0
2	邵雷	哈尔滨工程大学信息与通信工程学院	5	13	2.0	3.0
3	赵双	哈尔滨工程大学信息与通信工程学院	3	7	2.0	2.0