氨气还原氮化法制备TiN薄膜及其SERS效应研究

• 作者: 卜景龙 林健 王瑞生 董占亮 陈颖 魏恒勇 魏颖娜
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 物理学
• 关键词: TiN 薄膜 SERS
• 年，卷（期）: 2016,（2）
• 所属期刊栏目: 工艺·技术
• 页码范围: 2197-2200
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 字数: 2457字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2016.02.039

摘要

以四氯化钛乙醇溶液为钛源,采用氨气还原氮化法成功制备了TiN薄膜,利用XRD、RAMAN、FE-SEM、TEM、SAED及UV-VIS-NIR表征薄膜结构及光学性能.结果表明,TiN薄膜为NaCl型面心立方TiN晶体,膜厚在250 nm左右.UV-VIS-NIR分析显示TiN薄膜在500 nm附近出现了特征表面等离子体共振吸收峰.利用R6G作为探针分子研究了TiN薄膜拉曼增强效应,结果发现,TiN薄膜具有显著的拉曼增强效应,与空白石英基片相比,TiN薄膜对R6G增强因子为6.08×103,检出限为10-6 mol/L.