双工件台回转交换的同步控制系统设计

• 作者: 何良辰 刘洋 宋跃 张常江 陈兴林
• 来源期刊: 自动化技术与应用
• 学科: 工学
• 关键词: 光刻机 双工件台交换 同步调向 DSP PID
• 年，卷（期）: 2016,（9）
• 所属期刊栏目: 工业控制与应用
• 页码范围: 11-16
• 页数: 6页
• 分类号: TP273
• 字数: 2981字
• 语种: 中文

摘要

在目前普遍应用的步进扫描投影式光刻机中,工件台技术是光刻机的核心技术之一.为了实现双工件台交换的关键步骤—转台齿轮同步调向,提出了一种基于DSP和FPGA公自转同步调向交换双工件台的控制系统设计和实现方法.基于转台齿轮同步调向的双工件台回转交换方法与硬件装置,以TI公司型号为TMS320C6414的DSP为控制器,Altera公司型号为E P2S60F 102014N的FPGA作为可编程逻辑器件,定义了通信协议,设计了信号采集装置,完成了基于PID的控制系统和算法的规划.在本文详细介绍了该控制系统的三相异步电机执行机构、传感器模块、信号处理模块、运动控制模块等方面的设计,最终通过实验,证明该系统可靠、稳定,能够达到预定的换台指标.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈兴林	哈尔滨工业大学航天学院	164	1267	18.0	24.0
2	刘洋	哈尔滨工业大学航天学院	131	784	15.0	21.0
3	何良辰	哈尔滨工业大学航天学院	4	7	2.0	2.0
4	张常江	哈尔滨工业大学航天学院	7	9	2.0	2.0
5	宋跃	哈尔滨工业大学航天学院	6	7	2.0	2.0