氮氧化硅材料的研究进展

• 作者: 何善传 胡天丁 苏红莹 贾庆明 陕绍云 马艾华
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: 氮氧化硅 复合 薄膜 介孔 特性 制备方法
• 年，卷（期）: 2016,（15）
• 页码范围: 80-84
• 页数: 5页
• 分类号: TQ174.1+5
• 字数: 5713字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11896/j.issn.1005-023X.2016.015.013

摘要

综述了近几年氮氧化硅复合材料、氮氧化硅薄膜材料和介孔氮氧化硅材料的研究与发展现状。着重介绍了氮氧化硅薄膜材料的发光特性和折射率可调特性，及其不同的制备方法。同时介绍了介孔氮氧化硅材料和Si3 N4／Si2 N2 O、SiC／Si2 N2 O及BN／SiNOf 三种应用较多的氮氧化硅复合材料的研究现状。并对氮氧化硅材料的研究与应用进行了展望。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贾庆明	昆明理工大学化学工程学院	88	311	10.0	12.0
2	陕绍云	昆明理工大学化学工程学院	72	276	9.0	13.0
3	马艾华	昆明理工大学化学工程学院	4	11	2.0	3.0
4	苏红莹	昆明理工大学化学工程学院	22	25	4.0	4.0
5	何善传	昆明理工大学化学工程学院	3	1	1.0	1.0
6	胡天丁	昆明理工大学化学工程学院	3	1	1.0	1.0