不同厚度PZT薄膜的制备及电性能特性研究

• 作者: 宋瑞佳 谭秋林 郑俊华
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 铁电薄膜 PZT薄膜 溶胶-凝胶 介电性 铁电性
• 年，卷（期）: 2016,（5）
• 所属期刊栏目: 固态电子器件及材料
• 页码范围: 1034-1036
• 页数: 3页
• 分类号: TF123|TM282
• 字数: 2273字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2016.05.003

摘要

采用sol-gel（溶胶-凝胶）法在Pt/Ti/SiO2/Si基底上分别制备了厚度为400 nm、600 nm、800 nm的PZT（锆钛酸铅，Zr/Ti=52/48）薄膜，研究了厚度对薄膜介电性能与铁电性能的影响。通过对薄膜的铁电性能与介电性能进行测试，分析了不同厚度薄膜的剩余极化强度、介电常数与介电损耗，进一步分析了薄膜的介电调谐性能。实验结果表明，薄膜的介电常数与介电损耗随薄膜厚度的增大而增加；厚度为600 nm的薄膜具有最好的介电调谐性能与铁电性能。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谭秋林	中北大学电子测试技术国家重点实验室	71	327	10.0	15.0
5	宋瑞佳	中北大学电子测试技术国家重点实验室	2	1	1.0	1.0
9	郑俊华	中北大学电子测试技术国家重点实验室	4	2	1.0	1.0