基于石英晶体天平和微纳光纤的有机污染物在线监测

• 作者: 刘志刚 孙明营 庞向阳 朱健强 朱政豪 郝艳飞
• 来源期刊: 光子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 高功率激光器 光学损伤 光学表面 污染物监测 光纤传感
• 年，卷（期）: 2016,（9）
• 所属期刊栏目: 仪器,测量,度量学
• 页码范围: 129-134
• 分类号: TH74|TB79
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/gzxb20164509.0912008

摘要

为了监测高功率激光驱动器中有机污染物的挥发特性以及其在光学元件表面的沉积特性,研究了基于石英晶体微量天平和微纳光纤传感器的真空腔体内有机物在线监测技术.首先测试了不同分子态污染物浓度时石英晶体天平的响应性能,然后采用视角因子等分法对微纳光纤传感器和石英晶体天平进行对比实验,模拟有机污染物在光学表面沉积的特性.实验结果表明,石英晶体天平和微纳光纤测试有机物在光学表面沉积时响应一致,均可用于高功率激光驱动器有机污染物的在线监测;当污染物面密度大于0.5×10-5g/cm2时,微纳光纤传感器有较高精度和响应速度;有机污染物浓度越高,其更容易吸附沉积在光学元件表面.