阳极Ta/Ta2O5的薄膜曲界面结构特征及形成机理

• 作者: 张选红 彭丹 杨邦朝 王兴伟 石维 肖毅 马建华
• 来源期刊: 四川大学学报（自然科学版）
• 学科: 化学
• 关键词: 钽电解电容器 Ta2O5薄膜 微结构 电场畸变 曲面
• 年，卷（期）: 2016,（2）
• 所属期刊栏目: 材料科学
• 页码范围: 409-412
• 页数: 4页
• 分类号: O646
• 字数: 2203字
• 语种: 中文
• DOI: 103969/j.issn.0490-6756.2016.03.026

摘要

采用电化学方法制备了钽电解电容器阳极.通过场发射扫描电镜和理论分析对钽阳极断面的曲面结构特征及其形成机理进行了研究.研究结果发现Ta/Ta2 O5的薄膜曲界面存在间隙层(＜1nm),该间隙层为氧空位及其缺陷离子迁移所致;曲面结构的应力模型表明曲面薄膜界面的电化学生长过程生产缺陷浓度高于平面系统,讨论了钽电解电容器曲面薄膜的形成过程对电场应力畸变屏蔽的机理.