离子注入技术在n型电池p-n结制备中的应用

• 作者: 何凤琴 卢刚 张治 郑璐 郭灵山
• 来源期刊: 太阳能
• 关键词: 离子注入 n型硅片 n型电池 p-n结
• 年，卷（期）: 2016,（7）
• 所属期刊栏目: 技术产品与工程
• 页码范围: 35-39
• 页数: 5页
• 字数: 3700字
• 语种: 中文

摘要

介绍了离子注入制备n型电池p-n结的工艺原理及工艺特点,通过对n型硅片和p+发射极主要参数进行模拟分析,得到高效n型电池性能参数的范围及趋势;并对比不同离子注入剂量对n型电池p-n结方阻、implied Voc及Joe的影响,确定了制备高质量n型电池p-n结的离子注入剂量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑璐		4	5	2.0	2.0
2	何凤琴		11	5	2.0	2.0
3	卢刚		6	3	1.0	1.0
4	张治		6	3	1.0	1.0
5	郭灵山		6	2	1.0	1.0