红外探测器100％占空比的方形孔径球面微透镜阵列的研制

• 作者: 付跃刚 董亭亭 陈驰
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微透镜阵列100％占空比 移动掩膜曝光 反应离子刻蚀 光能效率
• 年，卷（期）: 2016,（9）
• 所属期刊栏目: 等离子体技术
• 页码范围: 1042-1047
• 页数: 6页
• 分类号: TN205|TN305.2|TN305.7
• 字数: 3301字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2016.09.13

摘要

为了避免由于红外探测器焦平面阵列存在占空比导致系统光能损失的影响，设计并制作了一种100％占空比、球面矢高8μm、周期50μm 的红外石英方形孔径球面微透镜阵列。应用非序列光学分析方法模拟并分析了微透镜周期结构占空比对光能利用率的影响。运用移动掩膜曝光技术和反应离子刻蚀技术制备微透镜阵列，通过显微镜和白光干涉仪对微透镜表面形貌进行表征，并分析了其面形误差。根据实验结果判断射频功率、工作气压及刻蚀气体流量工艺参数对微透镜形貌具有很大影响，经过分析确定了最佳工艺参数组合。测试结果表明：在最佳工艺参数组合条件下制作的微透镜占空比基本达到100％，红外焦平面光能效率从原来的65％提升到93％以上，说明方形孔径球面微透镜能够代替传统圆形孔径微透镜获得更高的光能利用率。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	付跃刚	长春理工大学光电工程学院	106	456	10.0	15.0
2	董亭亭	长春理工大学光电工程学院	5	16	3.0	4.0