钙钛矿型氧化物电极对Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜电学性能的影响

• 作者: 秦文峰 韩孝强
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜 脉冲激光沉积 底电极 介电常数
• 年，卷（期）: 2016,（5）
• 页码范围: 1353-1356,1364
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 2593字
• 语种: 中文

摘要

采用脉冲激光沉积技术(PLD)在单晶基片LaAlO3(001)、MgO(002)上分别制备Ba06Sr04TiO3/La0.5Sr05CoO3(BST/LSCO)、Ba0.6Sr04TiO3/SrRuO3 (BST/SRO)异质结构,研究了LSCO和SRO底电极对BST薄膜晶相结构、表面形貌及BST薄膜电容器的电学特性的影响.研究发现,沉积在钙钛矿氧化物底电极上的BST薄膜表面平整,并都具有良好的外延生长.由于生长在LSCO底电极BST薄膜的压应力大于生长在SRO底电极的压应力,BST/LSCO异质结构的介电可调率为79.58％,而BST/SRO的介电可调率仅为68.26％,两种底电极上生长的BST薄膜都具有较低的漏电流.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	秦文峰	中国民航飞行学院航空工程学院	5	9	2.0	3.0
2	韩孝强	中国民航飞行学院航空工程学院	3	4	1.0	2.0