氙气质量流量校准装置

• 作者: 张涤新 李得天 王云飞 王田刚 魏万印
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量 质量流量 校准装置 氙气
• 年，卷（期）: 2016,（9）
• 所属期刊栏目: 真空技术与理论
• 页码范围: 995-998
• 页数: 4页
• 分类号: TB77
• 字数: 3009字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2016.09.05

摘要

为了开展多工况条件下的氙气质量流量精确校准，研制了氙气质量流量校准装置。本文介绍了校准装置的组成、校准原理，测试了极限真空度、漏放气率，进行了真空容器容积在线测量、校准过程中氙气温度变化及物态变化等研究，对校准结果进行了验证。该装置校准范围为（3×10－1～2．6×103）mL／min（标准状态），相对合成标准不确定度为1．6％。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	魏万印		1	0	0.0	0.0
2	李得天		1	0	0.0	0.0
3	张涤新		1	0	0.0	0.0
4	王云飞		1	0	0.0	0.0
5	王田刚		1	0	0.0	0.0