CeO2纳米粒子抛光液分散稳定性及其化学机械抛光特性研究

• 作者: 佘亦曦 刘德福 陈广林 陈涛
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 抛光液 分散性 表面活性剂 化学机械抛光 吸光度 Zeta电位
• 年，卷（期）: 2016,（11）
• 所属期刊栏目: 表面质量控制及检测
• 页码范围: 187-193
• 分类号: TQ584
• 语种: 中文
• DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2016.11.029

摘要

目的 制备性能优良的CeO2纳米粒子抛光液.方法 通过使用不同种类及不同浓度的分散剂制备了一种良好的CeO2纳米粒子抛光液,采用激光粒度仪,紫外可见分光光度仪等对其进行了表征,进而研究了其在石英玻璃片化学机械抛光中的特性.结果 不同分散剂的分散作用不同,且分散剂的浓度直接影响分散效果.离子型分散剂主要通过静电稳定作用实现抛光液的分散稳定,而非离子型分散剂则通过空间位阻作用实现抛光液的分散稳定.阴离子型分散剂与非离子型分散剂的分散稳定效果明显强于阳离子型分散剂,而阴离子型分散剂与非离子型分散剂混合复配后的分散稳定效果又强于单一分散剂的效果.结论 混合复配型分散剂配制的CeO2纳米粒子抛光液静置72 h后仍分散均一稳定,基本可以满足抛光液分散稳定性能的要求.配制的CeO2纳米粒子抛光液在石英玻璃化学机械抛光中主要通过纳米粒子的吸附作用实现材料的去除,抛光后的石英玻璃表面无划痕,表面粗糙度可以达到1o nm左右,有效提高了石英玻璃的抛光质量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘德福	中南大学机电工程学院	29	274	10.0	16.0
3	陈涛	中南大学机电工程学院	42	215	9.0	13.0
5	陈广林	中南大学机电工程学院	3	20	2.0	3.0
10	佘亦曦	中南大学机电工程学院	4	22	2.0	4.0