磁电复合薄膜用高性能压电陶瓷靶材的制备

• 作者: 关卡 胡作启 郝永德
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 锆钛酸铅(PZT) 陶瓷靶材 压电
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 页码范围: 16-18,23
• 页数: 4页
• 分类号: TN304|TM282
• 字数: 2656字
• 语种: 中文

摘要

采用固相法制备了高性能的Pb(Zr0.54Ti0.46)O3压电陶瓷靶材.通过调整Sr掺杂比例,获得高性能的压电陶瓷配方,以高性能锆钛酸铅(PZT)粉体为原料,经冷等静压和高温烧结制备出磁控溅射需要的、直径为(o)73.6 mm的压电陶瓷靶材.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郝永德	华中科技大学光学与电子信息学院	20	74	6.0	7.0
2	胡作启	华中科技大学光学与电子信息学院	17	60	5.0	7.0
3	关卡	华中科技大学光学与电子信息学院	1	0	0.0	0.0