退火温度对La1-xSrxCo1-yFeyO3系薄膜NTC阻温特性的影响

• 作者: 付振晓 朱佩 李振昕 沓世我
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: La0.8Sr0.2Co0.7Fe0.3O3 薄膜 射频磁控溅射 结晶性能 NTC热敏电阻 阻温特性
• 年，卷（期）: 2016,（8）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 33-36
• 页数: 4页
• 分类号: TN37
• 字数: 2702字
• 语种: 中文
• DOI: 10.14106/j.cnki.1001-2028.2016.08.008

摘要

利用La1-xSrxCo1-yFeyO3(x=0.2,y=0.3)陶瓷靶材,通过真空射频磁控溅射在Al2O3基片上制备La0.8Sr0.2Co0.7Fe0.3O3(LSCF)薄膜,然后在此基础上制备NTC热敏电阻.采用X射线衍射(XRD)分析了材料相的组成,扫描电子显微镜(SEM)分析观察薄膜材料的微观结构,电阻测试仪和四探针仪器测试薄膜的阻温特性,研究不同退火温度对LSCF薄膜室温电阻和材料常数(B值)的影响.结果表明,随着退火温度升高,LSCF薄膜方阻和B值都存在先减小后增大现象,具有显著的NTC阻温特性,其lnR_T-1曲线具有良好的线性度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沓世我	广东风华高新科技股份有限公司新型电子元器件关键材料与工艺国家重点实验室	10	6	1.0	1.0
2	朱佩	广东风华高新科技股份有限公司新型电子元器件关键材料与工艺国家重点实验室	4	2	1.0	1.0
3	付振晓	广东风华高新科技股份有限公司新型电子元器件关键材料与工艺国家重点实验室	24	62	4.0	6.0
4	李振昕	广东风华高新科技股份有限公司新型电子元器件关键材料与工艺国家重点实验室	1	1	1.0	1.0