Pr3+,Tm3+共注入氮化铝薄膜的光谱特性

• 作者: 张纪才 徐科 曾雄辉 王晓丹 郭昀 阳明明
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 氮化铝薄膜 Tm3+ Pr3+ 光谱特性
• 年，卷（期）: 2016,（5）
• 页码范围: 1305-1309
• 页数: 5页
• 分类号: O433
• 字数: 2995字
• 语种: 中文

摘要

采用离子注入的方法在氮化铝薄膜中实现pr3和Tm3元素的单掺杂和共掺杂.以Raman光谱为主要表征手段,对离子注入过程中薄膜内部的应力变化进行研究;以阴极荧光为主要表征手段,对其低温和室温下的发光特性进行研究.Raman光谱的结果显示,离子注入过程使得薄膜内部应力下降,而退火过程使得薄膜内部应力升高.阴极荧光光谱结果显示,AIN:Pr3+主要跃迁峰位于528 nm;AIN:Tm3+主要跃迁峰位位于467 nm;AIN:Pr3+,Tm3+主要跃迁峰位位于528 nm和467 nm.AIN:Tm3+的低温光谱显示,与1I6和1D2两个能态相关的跃迁峰相对强度会随着温度出现急剧变化,由此表明在Tm3+之间存在与温度相关的相互作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曾雄辉	中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所	21	118	7.0	10.0
2	徐科	中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所	26	91	5.0	9.0
3	张纪才	中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所	7	43	3.0	6.0
4	王晓丹	苏州科技学院物理科学与技术系	19	29	3.0	4.0
5	郭昀	上海大学材料科学与工程学院	8	23	3.0	4.0
6	阳明明	上海大学材料科学与工程学院	2	5	1.0	2.0