磁控溅射CrAlYN涂层的硬度和抗氧化性能

• 作者: 娄长胜 尹雪 张济 张罡 杜晓明
• 来源期刊: 材料热处理学报
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 CrAlYN涂层 抗氧化性能 纳米硬度 弹性模量
• 年，卷（期）: 2016,（7）
• 所属期刊栏目: 表面改性
• 页码范围: 203-207
• 分类号: TG174.44
• 语种: 中文

摘要

采用磁控溅射技术,在高速钢基材上沉积了不同Y含量的CrAlYN涂层,进行了900℃下lh高温氧化试验.通过SEM、EDS、XRD和纳米压痕仪等对涂层元素组成、纳米硬度、弹性模量以及热处理前后的表面形貌和物相组成进行了表征.研究了Y含量对CrAlYN涂层硬度,弹性模量、物相组成和高温抗氧化性能的影响.结果表明:加入Y后涂层没有新的物相形成,但是CrAlN相的衍射峰取向由(200)向(111)转变.与不添加Y的CrAlN涂层相比,Y含量0.41 at％时,涂层的硬度、弹性模量和900℃高温抗氧化性能显著改善.Y含量2.75 at％和3.94 at％时,涂层的综合性能降低.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张罡	沈阳理工大学材料科学与工程学院	104	425	11.0	13.0
2	杜晓明	沈阳理工大学材料科学与工程学院	36	179	8.0	11.0
3	尹雪	沈阳理工大学材料科学与工程学院	3	9	2.0	3.0
4	张济	沈阳理工大学材料科学与工程学院	3	14	3.0	3.0
5	娄长胜	沈阳理工大学材料科学与工程学院	21	41	4.0	4.0