碳化硅超高温合成炉内气体流动特性研究

• 作者: 李阳 陈杰
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 超高温合成炉 碳化硅 流动特性 数值模拟
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 所属期刊栏目: 其他
• 页码范围: 367-371
• 页数: 5页
• 分类号: TQ173
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2016.03.20

摘要

通过对碳热还原法合成SiC冶炼炉的复杂炉况进行数值模拟及实验,研究了单热源炉内气体流动的动态变化规律.研究表明,单热源炉内气体的流动呈现三维立体多向流规律,气体流动依次沿着:热源延伸方向、垂直热源延伸方向、环绕SiC结晶筒方向流动.根据气体流动特性,可以在环绕结晶筒气流出现的以外部分加入少量木屑,以增加气孔率,使得气体顺利向外部扩散,有利于炉内压力的释放;控制炉体长度,可以在一定程度上减少平行热源延伸方向气体流动的范围,从而缩小成品的气孔大小,提高SiC成品质量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈杰	西安科技大学材料科学与工程学院	48	183	7.0	9.0
2	李阳	西安科技大学材料科学与工程学院	21	55	4.0	6.0