基于新型TiBCN单相金属陶瓷粉末制备纳米薄膜特性的研究

• 作者: 付秀华 刘冬梅 张静 潘永刚 胡建东 董军
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 TiBCN 热蒸发 陶瓷粉末 微观结构
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 所属期刊栏目: 结构薄膜
• 页码范围: 296-300
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2016.03.09

摘要

TiBCN单相陶瓷粉末是一种刚问世的新型材料,该材料具有NaCl型面心立方(Fcc)结构,兼有陶瓷和金属特性.在真空状态下,当温度为1200℃时,利用热蒸发TiBCN粉末,在三氧化二铝(Al2O3)陶瓷衬底上获得了TiBCN薄膜.采用X射线衍射仪、场发射扫描电子显微镜及能谱分析仪研究了TiBCN薄膜的组织和微观结构,并用硬度计测试了薄膜的硬度.结果显示,利用热蒸发获得了TiBCN薄膜具有面心立方晶格结构,同时含有少量六方氮化硼(h-BN)相.所制备TiBCN薄膜结晶均匀,晶粒大小约为400 nm,硬度为20.55 GPa.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	付秀华	长春理工大学光电工程学院	141	525	11.0	15.0
2	胡建东	吉林大学材料科学与工程学院汽车材料教育部重点实验室	24	159	6.0	12.0
4	张静	长春理工大学光电工程学院	67	132	6.0	8.0
5	刘冬梅	长春理工大学光电工程学院	49	107	5.0	8.0
6	潘永刚	长春理工大学光电工程学院	15	71	4.0	8.0
7	董军		2	3	1.0	1.0