厚度对TiN薄膜力学性能的影响

• 作者: 余红雅 匡同春 周晟昊 曾德长 蒋春磊 赵升升
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 硬质薄膜 力学性能 薄膜厚度 TiN 残余应力
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 所属期刊栏目: 结构薄膜
• 页码范围: 291-295
• 页数: 5页
• 分类号: TG174.444
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2016.03.08

摘要

采用电弧离子镀方法制备了不同厚度TiN薄膜,并对其硬度、结合力、残余应力、摩擦磨损特性等力学性能进行了系统性研究,以揭示硬质薄膜厚度对其力学性能的影响规律.结果表明,随着厚度增加,薄膜表面大颗粒增加,膜基界面剪切力增大,薄膜硬度逐渐增加,结合力逐渐下降,摩擦系数略有下降;而薄膜应力沿层深分布趋势基本一致,都呈钟罩形分布;磨损率随薄膜厚度变化不大,即薄膜越厚越耐磨.