硅氧合金薄膜及其在高效纳米硅薄膜叠层太阳电池中的应用研究

• 作者: 严辉 俞凤至 张津岩 张铭 徐希翔 曲铭浩 汪涛 胡安红 郁操
• 来源期刊: 太阳能学报
• 学科: 工学
• 关键词: 太阳电池 非晶硅/纳米硅叠层电池 硅氧合金薄膜 p层非晶硅氧薄膜 n层纳米硅氧薄膜
• 年，卷（期）: 2016,（8）
• 页码范围: 1918-1924
• 页数: 7页
• 分类号: TM914.42
• 字数: 6238字
• 语种: 中文

摘要

系统研究两种不同形态的硅氧合金薄膜,用甚高频PECVD系统制备的非晶硅氧和纳米硅氧薄膜的特性,以及其在纳米硅薄膜叠层薄膜太阳电池中的应用.实验中主要通过对不同的气体流量比的优化、沉积功率和沉积压力的优化,分别制备出光学带隙约为2.1 eV,折射率约为3的a-SiOx∶B∶H薄膜,作为非晶硅顶电池的pl层,以及带隙为2.2～2.5 eV,折射率为2.0～2.5,晶化率为20％～50％的nc-SiOx∶P:H薄膜,作为非晶硅/纳米硅叠层电池的中间反射层和纳米硅的底电池n2层.最后将优化后的a-SiOx∶B∶H和nc-SiOx∶P∶H薄膜应用到非晶硅/纳米硅薄膜叠层电池中,在0.79 m2的玻璃基板上制备出初始峰值功率为101.1 W、全面积初始转换效率为12.8％、稳定峰值功率为87.3 W、全面积稳定转换效率为11.1％的非晶硅/纳米硅叠层电池.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	严辉		178	1225	16.0	29.0
2	张铭		44	107	6.0	8.0
3	俞凤至		1	0	0.0	0.0