MEMS压力传感器性能测试系统设计

• 作者: 冯春鹏 潘冬灵
• 来源期刊: 机电技术
• 学科: 工学
• 关键词: 单片机 MEMS压力传感器 性能测试 标定
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 页码范围: 48-50,55
• 页数: 4页
• 分类号: TH13|TH12
• 字数: 2184字
• 语种: 中文

摘要

设计了一种基于51单片机的MEMS压力传感器的测试标定装置，该标定装置由3部分组成：压力容器泵体部分、测试控制电路部分、微型真空气泵部分。利用该测试装置对实验室设计制作的微压力传感器样品进行初步性能测试，并选取其中部分MEMS传感器实验样品进行系统标定。测试实验结果表明测试装置实际可行，为以后的微传感器测试工作提供了理论参考和实验依据。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯春鹏	北方工业大学机械与材料工程学院	8	17	3.0	4.0
2	潘冬灵	北方工业大学机械与材料工程学院	1	1	1.0	1.0