高精度真空材料放气测试研究

• 作者: 吴晓斌 王宇 王魁波 罗艳
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 真空材料 放气率 测试方法 极限真空 放气组分
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 所属期刊栏目: 真空技术与理论
• 页码范围: 251-257
• 页数: 7页
• 分类号: TB74
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2016.03.01

摘要

材料放气率是评价真空材料性能的重要参数.高精度真空材料放气测试系统集成了定容升压法、小孔流导法和双通道转换法三种材料放气率测试方法.其独特的系统设计与加工并配备先进的泵阀计组件,使系统获得无污染清洁的超高真空,极限真空度最低达6.8×10-9 Pa.低的本底真空进一步降低了系统的放气率测量下限,三种方法的测量下限依次可达:6.20×10-12,2.90×10-12和2.78×10-12 Pa·m3/(s·cm2).针对三种方法,对应选取聚四氟乙烯(PTFE)、304和316 L不锈钢作为样品,测试了不同时间的放气率.测试结果表明:三类样品10 h内的总放气率分别在10-8,10-11和10-12 Pa·m3/(s·cm2)数量级,对应的最大测量不确定度分别为9.4%,12.5%和13.8%.结合四极质谱计,进一步获得样品的放气组分和PTFE各组分的放气分率,总放气率和放气分率均随抽气时间的增加而下降.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王宇	中国科学院光电研究院	211	1906	23.0	32.0
3	罗艳	中国科学院光电研究院	30	414	8.0	20.0
5	吴晓斌	中国科学院光电研究院	12	24	3.0	4.0
7	王魁波	中国科学院光电研究院	11	20	3.0	4.0