可实现误差估计的移相量计算方法

• 作者: 何建国 刘乾 袁道成
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 移相干涉仪 移相器 标定 误差估计 迭代算法
• 年，卷（期）: 2016,（10）
• 所属期刊栏目: 信息科学
• 页码范围: 2565-2571
• 页数: 7页
• 分类号: TH744.3
• 字数: 2703字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20162410.2565

摘要

针对移相干涉仪中移相器的标定,提出了一种基于干涉图计算移相量的迭代方法.该方法分为两步:首先假设移相量已知,构建三元最小二乘方程计算位相;然后假设位相已知,构建二元最小二乘方程计算移相量,同时依据三角函数关系和遍历原则,建立估算移相量计算误差的参数.利用计算机仿真和实验验证了提出方法的有效性.计算机仿真显示:提出的方法比已有算法计算精度更高,而且误差估计值与实际计算误差偏离小于15％.在Fizeau干涉仪上开展了验证实验,利用两个电容位移传感器测量了镜架的位移.计算结果与电容传感器测量结果非常吻合,最大偏差仅为0.7nm.另外,利用本文方法得到的误差估计值为0.52 nm,显示测量结果和计算结果的偏差在误差估计值范围内.所提出的方法可以高精度地提取移相量,且能给出移相量计算误差,是一种简单可靠的移相器标定方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	何建国	中国工程物理研究院机械制造工艺研究所	56	300	9.0	15.0
2	袁道成	中国工程物理研究院机械制造工艺研究所	27	190	9.0	13.0
4	刘乾	中国工程物理研究院机械制造工艺研究所	12	65	4.0	8.0