CIGS电池、靶材及单靶溅射工艺研究进展

• 作者: 余洲 冀亚欣 刘连 张勇 晏传鹏 欧玉峰 王丹 赵勇 闫勇
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: CIGS电池 粉末冶金 单靶溅射 光电性能
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 所属期刊栏目: 本期专题:新型电池材料
• 页码范围: 128-132,153
• 页数: 6页
• 分类号: TK02
• 字数: 6563字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11896/j.issn.1005-023X.2016.03.025

摘要

综述了蒸发法、溅射后硒化法、单靶直接溅射法制备CIGS光吸收层的工艺和电池性能,比较了它们的优缺点;详细介绍了粉末冶金参数(如烧结温度、压力、时间)对制备CIGS靶材致密度、成分均匀性的影响;着重阐述了单靶溅射工艺参数(如衬底温度、溅射功率、工作气压)对沉积的CIGS薄膜的相结构、形貌、光学及电学性能的影响.