NI视觉软件的光学元件厚度测量装置

• 作者: 周冀馨
• 来源期刊: 实验室研究与探索
• 学科: 工学
• 关键词: 迈克尔逊干涉仪 等倾干涉 厚度测量 NI视觉软件
• 年，卷（期）: 2016,（6）
• 所属期刊栏目: 计算机技术应用
• 页码范围: 131-134,142
• 页数: 5页
• 分类号: TP391.4
• 字数: 3308字
• 语种: 中文

摘要

介绍一种基于NI视觉软件的光学元件厚度测量装置.首先介绍光学元件厚度测量的基本原理-迈克尔逊等倾干涉;然后搭建光路,利用CCD进行干涉图像采集,传输到计算机中,利用NI视觉软件对图像进行处理,得出光学元件厚度;最后对测量误差产生的原因和消除途径进行了分析.该装置经过详实周密的数据处理,提高了测量精度和分辨力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周冀馨	天津电子信息职业技术学院电子技术系	8	6	2.0	2.0