适用无源射频识别标签的集成压力传感器设计

• 作者: 李兵 邓芳明 郭凤鸣
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 压力传感器 RFID标签 CMOS工艺
• 年，卷（期）: 2016,（4）
• 所属期刊栏目: 固态电子器件及材料
• 页码范围: 796-800
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 2431字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2016.04.009

摘要

针对无源射频识别（RFID）传感器标签发展的需求，采用商业化互补金属氧化物（CMOS）工艺，设计了一种集成电容式压力传感器及其接口电路。集成压力传感器采用金属层M1作为下电极，牺牲的金属层M2作为间隙层，通过过孔连接的金属层M3和M4及其介质构成上电极。传感器接口电路基于锁相环原理，采用全数字结构，将传感器信号转移到频率域处理。后期测试结果显示，所设计的压力传感器线性度高，温度稳定性好，接口电路在1 V电源电压下，只消耗了0.6 mW功率，尤其适用于无源RFID标签的设计。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李兵	湖南机电职业技术学院汽车工程学院	68	392	10.0	17.0
3	郭凤鸣	湖南机电职业技术学院汽车工程学院	21	39	4.0	4.0
6	邓芳明	合肥工业大学电气与自动化工程学院	20	203	8.0	13.0