辉光放电质谱法测定氧化铟锡靶材中的元素含量

• 作者: 郑清洪 郭斌斌 黄瑾
• 来源期刊: 分析试验室
• 学科: 化学
• 关键词: 辉光放电质谱法 ITO RSF
• 年，卷（期）: 2016,（7）
• 所属期刊栏目: 研究报告与研究简报
• 页码范围: 765-768
• 页数: 4页
• 分类号: O657.63
• 语种: 中文
• DOI: 10.13595/j.cnki.issn1000-0720.2016.0175

摘要

利用辉光放电质谱仪(GDMS)一次性直接测定ITO靶材中的主体元素和痕量元素.首先考察了ITO样品中的元素和Ar,H,O,N等气体元素形成的多原子离子干扰,利用X射线光电子能谱确定氧化铟锡靶材的主体元素In和Sn的组分,通过GDMS校正获得二者的相对灵敏度因子(RSF),从而对ITO中的In和Sn进行定量,并利用典型RSF对其他痕量元素进行半定量.测试的结果具有较好的准确度和精度.利用校正RSF和典型RSF相结合进行测试的方法同样适用于类似的掺杂的半导体材料.