国外文献摘要

• 来源期刊: 水处理信息报导
• 学科: 地球科学
• 关键词: 会议论文摘要 SIEMENS 文献 国外 树脂产品 检测极限 杂质含量 微电子行业
• 年，卷（期）: 2016,（4）
• 页码范围: 38-43
• 页数: 6页
• 分类号: X132

摘要

国际水会议论文摘要 IWC．11．64在最高纯度树脂的研究过程中适当的扩大微电子学中离子交换的极限Alan Knapp, Siemens Industry, Inc. Water Technologies, Portland, OR; Slava Libman, Air Liquide, Balazs NanoAnalysis Freemont, CA 目前，常见杂质，如钠、TOC，硅和硼的含量被迫不断地降低浓度检测极限。由于微电路的测量以纳米计，因此，生产工艺需要更纯的水就很好理解了：本文将综述最新数据评估微电子行业使用的树腊，包括清洗时间和基准杂质含量。另外，还将考察新的且有利于半导体工业ITRS的树脂产品的开发情况。在降级使用过程中回用这些高质量树脂的能力也将被讨论。