三氧化二铬薄膜的制备及应用研究进展

• 作者: 刘东青 张朝阳 李阳 程海峰 郑文伟
• 来源期刊: 化工新型材料
• 关键词: 薄膜 三氧化二铬 制备 应用
• 年，卷（期）: 2016,（9）
• 所属期刊栏目: 综述与专论
• 页码范围: 25-27
• 页数: 3页
• 语种: 中文

摘要

三氧化二铬(Cr2O3)薄膜具有高熔点、高硬度、低摩擦系数和耐磨损等优点,是应用非常广泛的一种薄膜材料.介绍了Cr2O3薄膜常用的制备方法,包括化学气相沉积法、蒸发诱导组装法、磁控溅射法、脉冲激光沉积法、分子束外延法等,并进行了比较分析.阐述了Cr2O3薄膜在扩散阻挡层、耐磨损保护层、薄膜电阻器件、金属材料保护层、电子开关材料、电极材料、气敏材料等方面的应用.对Cr2O3薄膜的制备方法及应用进行了展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张朝阳		9	37	2.0	6.0
2	程海峰		21	209	6.0	14.0
3	刘东青		7	4	1.0	2.0
4	郑文伟		7	46	2.0	6.0
5	李阳		4	2	1.0	1.0