PID温度控制在真空镀膜机应用研究

• 作者: 孙鹏 王辰 秦美荣
• 来源期刊: 电源技术
• 学科: 工学
• 关键词: PID温度控制 参数整定 真空镀膜机
• 年，卷（期）: 2016,（7）
• 所属期刊栏目: 研究与设计
• 页码范围: 1465-1466,1494
• 页数: 3页
• 分类号: TM914
• 字数: 1167字
• 语种: 中文

摘要

在自动化控制领域内,PID控制器具有结构简单、容易实现、控制效果好等特点,是迄今为止最稳定的控制方法.高真空镀膜机的温度控制在镀膜过程中起着十分重要的作用,控制温度的精准与否将直接影响空间用太阳电池成膜质量,研究了PID算法的原理和实现方法,将其应用到真空镀膜机温度控制系统中,并且摸索出相应参数整定的方法规律,可以满足工艺所需要的各种温度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王辰		2	3	1.0	1.0
2	孙鹏		2	3	1.0	1.0
3	秦美荣		1	2	1.0	1.0