基于自适应测量步长的激光调阻控制策略

• 作者: 封芸 梁进智 金越越
• 来源期刊: 激光与红外
• 学科: 工学
• 关键词: 激光修调 自适应测量步长 控制策略 刻蚀路径
• 年，卷（期）: 2016,（11）
• 所属期刊栏目: 激光应用技术
• 页码范围: 1325-1328
• 页数: 4页
• 分类号: TN249
• 字数: 2534字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5078.2016.11.005

摘要

针对0603型片式电阻在不同位置的阻值变化率不同，提出了基于自适应测量步长的激光调阻控制策略。这种调阻控制策略可根据当前阻值与目标值的偏差百分比自适应选择测量步长。经过实验分析，与固定测量步长的控制策略相比，这种控制策略不仅能够保证激光修调精度也能提高激光修调效率。为了使这种控制策略能够广泛应用于不同电阻型号的激光修调，介绍了自适应测量步长控制策略的建模过程，在不了解刻蚀路径对阻值变化率的影响时可建模之后再应用这种控制策略。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	梁进智		3	2	1.0	1.0
2	封芸		3	2	1.0	1.0
3	金越越		3	2	1.0	1.0