气动驱动变厚变曲率反射镜技术

• 作者: 丁蛟腾 刘美莹 樊学武 解晓蓬 许亮 赵惠
• 来源期刊: 光子学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 变曲率反射镜光学设计 光学变焦 无运动部件变焦 气动驱动 变厚 薄板弹性理论
• 年，卷（期）: 2016,（11）
• 所属期刊栏目: 光学设计与制造
• 页码范围: 54-61
• 页数: 8页
• 分类号: O439
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/gzxb20164511.1122001

摘要

以环形线负载驱动模型为基础,分析了环形线负载驱动变曲率反射镜难以兼顾大中心形变与高精度面形保持的原因;从薄板弹性理论出发,得到了一种气动驱动变厚变曲率反射镜物理模型.理论分析表明,将反射镜的厚度分布从等厚改为变厚,并采用气压均匀驱动替代推力环环形驱动,反射镜不仅能产生大的中心形变,而且在形变过程中的面形精度也远高于环形线负载驱动变曲率反射镜的.基于超硬铝反射镜样片的试验验证了对变厚变曲率反射镜的理论分析;试验中,反射镜初始面形精度接近λ/50(632.8 nm),施加0.032 MPa驱动气压产生约22 μm中心形变时,反射镜面形精度依然优于λ/20(632.8 nm),证明该气动驱动结合变厚设计这一技术具有较大的应用潜力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许亮	中国科学院西安光学精密机械研究所空间光学应用研究室	14	51	4.0	6.0
2	丁蛟腾	中国科学院西安光学精密机械研究所空间光学应用研究室	6	27	3.0	5.0
3	赵惠	中国科学院西安光学精密机械研究所空间光学应用研究室	12	73	5.0	8.0
4	刘美莹	中国科学院西安光学精密机械研究所空间光学应用研究室	8	68	5.0	8.0
5	解晓蓬	中国科学院西安光学精密机械研究所空间光学应用研究室	1	1	1.0	1.0