用于微反应器塑件整平的等温热压工艺

• 作者: 刘冲 徐征 曹栋 杜立群 栾庆蕾
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 等温热压整平 微注塑成型 微反应器塑件 平面度
• 年，卷（期）: 2016,（11）
• 所属期刊栏目: ? 微纳技术与精密机械 ?
• 页码范围: 2705-2711
• 页数: 7页
• 分类号: TQ320.6|TN405
• 字数: 2528字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20162411.2705

摘要

以一种微流控微反应器塑件为对象，提出了用于微塑件整平的等温热压工艺，研究了等温热压工艺对平板微塑件的整平机理。建立了描述该工艺的弹塑性数学模型，计算分析了外加压力和温度对塑件表面形貌的影响。综合考虑塑件整平效果和微结构保形，开展等温热压整平工艺实验，分析了关键工艺参数对器件整平精度的影响。研究结果表明：与压力载荷相比，热载荷对不平度的改善效果更明显；由于塑件端部区域受力面积大，其两端变形量均大于中间反应腔的变形量。在相同压力条件下，70℃时平面度和不平度的变化率均为最高。通过工艺优化，微反应器塑件平面度提高到了10μm 内，最大变化率可达72．7％；而不同区域的不平度变化率为3．50％～53．50％，微结构尺寸变化可控制在5μm 以下。本文研究成果对提高平板微塑件平整精度有借鉴作用。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杜立群	大连理工大学微纳米技术及系统辽宁省重点实验室	61	480	13.0	19.0
2	刘冲	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	156	1345	17.0	30.0
3	徐征	大连理工大学微纳米技术及系统辽宁省重点实验室	52	292	9.0	14.0
4	栾庆蕾	大连理工大学微纳米技术及系统辽宁省重点实验室	2	4	2.0	2.0
5	曹栋	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	1	2	1.0	1.0