退火温度对Zn0.93Fe0.07O薄膜微结构和铁磁性能的影响

• 作者: 张国恒 更藏多杰 陈万军 陈彦 马书懿
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 兹控溅射 Zn0.93Fe0.07O薄膜 退火温度 铁磁性
• 年，卷（期）: 2016,（8）
• 页码范围: 2152-2155,2171
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 3399字
• 语种: 中文

摘要

用射频磁控溅射方法在硅片上制备了Zn0.93Fe0.07O薄膜,并在空气中用不同温度进行热处理,利用X射线衍射仪和扫描电子显微镜对其微结构、表面和断面形貌进行测试.结果表明,薄膜沿c轴方向择优生长,呈六角纤锌矿结构,空气中450℃退火的样品XRD谱中出现最强的(002)衍射峰,晶粒尺寸变大,薄膜结晶和取向明显变好.用振动样品强磁计对样品铁磁特性进行测试,发现当退火温度的升高时,饱和磁化强度有所增加,并经分析认为这可能是薄膜中晶粒间的晶界缺陷引起的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马书懿	西北师范大学物理与电子工程学院甘肃省原子分子与功能材料重点实验室	69	226	8.0	11.0
2	张国恒	西北民族大学电气工程学院电子材料国家民委重点实验室	47	95	5.0	7.0
3	陈彦	西北民族大学电气工程学院电子材料国家民委重点实验室	7	15	2.0	3.0
4	陈万军	西北民族大学电气工程学院电子材料国家民委重点实验室	6	19	2.0	4.0
5	更藏多杰	西北民族大学电气工程学院电子材料国家民委重点实验室	3	1	1.0	1.0