CrN和CrSiN薄膜在不同介质下的摩擦学性能

• 作者: 宋晓航 张广安 王海新 苏培博 蒲吉斌 鞠鹏飞
• 来源期刊: 润滑与密封
• 学科: 工学
• 关键词: CrN薄膜 CrSiN薄膜 摩擦磨损 磁控溅射
• 年，卷（期）: 2016,（10）
• 所属期刊栏目: 开发应用
• 页码范围: 86-90,140
• 页数: 6页
• 分类号: TG174.44
• 字数: 3848字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0254-0150.2016.10.017

摘要

采用中频非平衡反应磁控溅射法在单晶硅P(111)和不锈钢(304SS)基材上制备CrN和CrSiN薄膜;利用球-盘式摩擦磨损试验机(CSM)考察2种薄膜在不同介质(空气、去离子水、质量分数3.5％NaCl溶液)中和WC/Co球对摩的摩擦学性能.结果表明:大气环境下,CrN与CrSiN薄膜的磨损机制主要是磨粒磨损;水润滑下,CrN薄膜主要因机械抛光作用,CrSiN薄膜主要因摩擦化学反应,使得摩擦因数减小;在3.5％NaCl溶液中CrN薄膜易被腐蚀,由于NaCl颗粒析出以及涂层接触区域的腐蚀和磨损产物,作为第三体的润滑作用,导致摩擦磨损发生明显变化,而CrSiN薄膜不易被腐蚀,主要因摩擦化学反应,使得摩擦磨损性能发生显著变化.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张广安	中国科学院兰州物理化学研究所	29	137	7.0	10.0
2	鞠鹏飞		18	18	3.0	3.0
3	苏培博		5	9	2.0	2.0
4	宋晓航		5	25	3.0	5.0
5	王海新		1	3	1.0	1.0
6	蒲吉斌		1	3	1.0	1.0