全频段亚纳米精度氟化钙材料加工

• 作者: 代雷 刘健 张春雷 彭石军 徐乐 王飞 谷永强 马占龙
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 氟化钙 投影光刻物镜 精密光学加工 亚纳米精度加工 离子束修形(IBF)
• 年，卷（期）: 2016,（11）
• 所属期刊栏目: ? 现代应用光学 ?
• 页码范围: 2636-2643
• 页数: 8页
• 分类号: TN305.2|TH703
• 字数: 2633字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20162411.2636

摘要

考虑用 CaF2材料制作投影光刻物镜可以明显提高其性能指标，本文研究了 CaF2材料加工工艺的全流程，以实现CaF2材料的全频段高精度加工。首先，利用沥青抛光膜和金刚石微粉使 CaF2元件有较好的面形和表面质量。然后，优化转速、抛光盘移动范围、压力等加工工艺参数，并使用硅溶胶溶液抛光进一步降低 CaF2元件的高频误差，逐渐去除加工中产生的划痕并且获得极小中频误差（Zernike 残差）和高频粗糙度。最后，在不改变 CaF2元件高频误差的同时利用离子束加工精修元件面形。对100 mm 口径氟化钙材料平面进行了加工和测试。结果表明：其 Zernike 37项拟合面形误差 RMS 值可达0．39 nm ，Zernike 残差 RMS 值为0．43 nm ，高频粗糙度均值为0．31 nm ，实现了对 CaF2元件的亚纳米精度加工，为研发高性能深紫外投影光刻物镜奠定了良好基础。