锗衬底表面圆柱形仿生蛾眼抗反射微结构的研制

• 作者: 付跃刚 张磊 董亭亭 陈驰 马辰昊
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光学设计 抗反射结构 亚波长微结构 严格耦合波分析 反应离子刻蚀技术
• 年，卷（期）: 2016,（5）
• 所属期刊栏目: 光学设计与制造
• 页码范围: 228-234
• 页数: 7页
• 分类号: O485|TN305
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AOS201636.0522004

摘要

采用严格耦合波分析方法研究了长波红外波段锗基底的圆柱形周期阵列仿生蛾眼抗反射微结构的衍射特性,并进行理论分析和模拟仿真验证.重点分析了周期、深度、占空比和整体面型轮廓等参数对微结构抗反射特性的影响,得出具有较好抗反射效果的结构组合参数.采用二元曝光技术和反应离子刻蚀技术在锗基底上制备该亚波长周期微结构.通过热场发射扫描电子显微镜对微结构表面形貌进行表征,并应用红外成像光谱仪在长波红外波段分别对双面抛光锗片、单面微结构和双面微结构进行测试对比,结果显示在8～12 μm范围内双面微结构的反射率小于8％,基本达到设计要求.