级联环形谐振腔温漂抑制效应实验研究

• 作者: 刘丽双 唐军 张伟
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 温度系数 绝缘体上硅 微环谐振腔 垂直光栅耦合
• 年，卷（期）: 2016,（8）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 1165-1168
• 页数: 4页
• 分类号: O433
• 字数: 2616字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2016.08.007

摘要

为降低温度变化对基于微环谐振腔的滤波器、调制器等光学精密器件性能的影响，研究了微环谐振腔的温度特性，设计加工了基于绝缘体上硅的单环以及多环微腔结构。通过数显温控加热系统对微环谐振腔加热，利用波长扫描的方式，进行了谐振腔透射谱线的测试实验，通过线性拟合分析，计算得到单环谐振腔谐振波长漂移与温度的变化关系为105 pm/℃，双环谐振器与温度的变化关系为97 pm/℃，三环谐振器与温度的变化关系为80 pm/℃，九环的谐振波长漂移与温度的变化关系为27 pm/℃。即环个数增加，谐振腔温度系数有减弱趋势，较好实现了谐振腔温漂抑制作用。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张伟	中北大学电子测试技术国防科技重点实验室	53	92	5.0	6.0
5	唐军	中北大学电子测试技术国防科技重点实验室	64	114	5.0	9.0
9	刘丽双	中北大学电子测试技术国防科技重点实验室	7	10	2.0	2.0